本社・事業所を覗く

【本社・事業所を覗く：富山事業所】
半導体製造装置の開発から製造まで行う重要拠点。厳しいセキュリティに守られており、普段はなかなか目にすることができない富山事業所の施設・設備を紹介します。

01 プロセス開発エリア：次世代半導体デバイスに対応したプロセスや要素開発を実施。デバイストレンドや顧客ニーズに適応するプロセス条件の開発や新規原料の検討、成膜の評価・測定などを行っている。シミュレーション技術や各種成膜実験の評価、高度な測定技術等を活用し、熱流体力学、機械工学、制御工学、電気・電子工学、マテリアル工学、物理工学、プラズマ工学といった幅広い分野の技術が求められる。

02 装置システム開発エリア：次世代半導体デバイスに対応した装置や要素開発を実施。高難易度な成膜を実現するための装置システムやコンポーネントの開発、顧客ニーズに適応する装置の設計、改善を行っており、ハードウェア設計（機械、電気、シミュレーション）、ソフトウェア設計を担当するエンジニアが在籍。

03 評価エリア：厳しい評価試験を繰り返すことで高度化・複雑化する要求に対応。社内開発向けの半導体製造装置を使って成膜処理やトリートメント処理を行い、膜厚測定・異物検査・各種物理分析・観察等、ナノレベルの評価を実施。DRAM、3D-NAND、Logic等の半導体デバイスの性能向上に伴い、ますます高度化・三次元化するお客様の要求に応えている。

04 生産エリア：クリーンな環境下で無駄を省いた効率の良い生産を実現。装置の組み立てなどを行い、清浄度がクラス5000というクリーンルームになっている。当社のバッチ成膜装置は、ウェーハを縦に高く積み上げて処理を行うため、高さ4m以上、横幅1m強で、省スペースで高い生産性を発揮。

05 トレーニングセンタ：富山事業所のすぐ近くにある西山館では、当社グループの装置のメンテナンスや操作方法をレクチャーするスタンダードトレーニングをはじめ、装置を効率よく運用いただくためのサポートを行っている。

06 展示室：当社グループの製品の歴史を紐解く資料を展示。沿革や製品の変遷、国内外のグループ会社とブランチの拠点などを展示。

07 カフェテリア：食事の充実で社員をおいしくサポート。約1,400人の従業員を「食」からバックアップ。立山連峰を見渡せる眺望と500席の広々大空間。会社の福利制度として喫食費用の約半額を会社負担。